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研 究 紹 介
薄膜・表面物性 研究室 homepage
物質・ナノサイエンス分野 中野武雄 准教授

1. ナノ結晶粒子調製とPL発光
2. 絶縁体膜中の電子なだれ
3. パルススパッタ製膜技術
4. スクラッチで生じる弾塑性

高機能先端材料開発の原点である薄膜物理と表面科学を中心に「ものづくり」の基礎技術と理論を学びます。固体薄膜を対象に構造や物性の研究を行い、より優れた機能を持った薄膜の作製やそれを応用した技術の開発に取り組んでいます。

nano-crystal Si

nano-crystal Si Si は、小さな粒になると発光します。大きい粒は赤く、小さい粒は青い。電気化学反応で作るときに、レーザビームを照射することで粒径が制御できるようになりました。

MgO 膜の電子放出

MgO 膜の電子放出 MgO 薄膜は絶縁体で電子を放出しやすく、プラズマの省エネ生成技術の要石です。私たちは、電子のとび出る過程より、供給経路の改善こそが放出の鍵と考えて、… いろいろと工夫しています。

HiPIMS

当研究室で開発された新しいパルススパッタ技術です。とくに OFF 期の電圧だけでプラズマ電位が変えられるので、低温でも高品位の薄膜が“簡単に”得られます。

薄膜の付着性

薄膜の破壊・剥離 スクラッチは薄膜の付着性を評価する最も強力な試験法で、特に振動式マイクロスクラッチは当研究室の発明です。しかし、ひずみは複雑に分布して一般的な解析公式がありません。でも、コンピュータを利用すると …

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