電気電子専攻
電子材料プロセス研究室
中野 武雄
原子・分子を思い通りに積み重ねて最先端材料を生み出す
学びのキーワード
- 電子材料
- 高機能材料
- 薄膜作製技術
- プラズマサイエンス
- 真空工学
- エレクトロニクス
中野 武雄 教授
- 研究分野
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- 薄膜作製技術
- 表面改質技術
- 物理化学計測
- 研究室紹介
- 原子・分子から堆積させる固体表面のコーティングや微細構造作製について研究しています。真空電子放出源、スマートウィンドウ、超低ガス放出コーティングなどへの応用に向けて、製膜技術と評価技術の向上に取り組んでいます。
- 研究室紹介PDF